三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)采用非接觸光學(xué)測(cè)頭測(cè)量工件，有以下優(yōu)點(diǎn)：
1、沒有測(cè)量力和摩擦，可以用于測(cè)量各種柔軟和易變形的物體；
2、因?yàn)椴唤佑|被測(cè)件，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)可以很快的對(duì)物體進(jìn)行掃描測(cè)量，測(cè)量速度和采樣頻率都較高；
3、光斑可以做的很小，可以探測(cè)一般機(jī)械測(cè)頭難以探測(cè)的部位，也不需要進(jìn)行測(cè)端半徑補(bǔ)償；
4、許多光學(xué)測(cè)頭具有大的量程，這是一般接觸測(cè)頭難以達(dá)到的；
5、同時(shí)探測(cè)的信息豐富。
用光學(xué)測(cè)頭測(cè)量物體，并不是測(cè)量物體本身的幾何形狀，而是所“看”到物體的光學(xué)反差結(jié)構(gòu)。除物體的尺寸特性外，物體的輻射特性對(duì)測(cè)量結(jié)果也有較大影響。如照明情況、表面狀態(tài)反射情況、陰影、擋光、對(duì)譜線吸收情況等，都會(huì)引入附加誤差。所以光學(xué)測(cè)頭不能簡(jiǎn)單地以測(cè)量不確定度或zui大允許誤差來(lái)表征，而要在非常確定的工作條件下，來(lái)討論測(cè)量不確定度。 

近年來(lái)光學(xué)測(cè)頭發(fā)展非常迅速，現(xiàn)可以將應(yīng)用到三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的光學(xué)測(cè)頭分為五類：
1、一維測(cè)頭：如三角法測(cè)頭、激光聚焦測(cè)頭、光纖測(cè)頭等；
2、二維測(cè)頭：主要是各種視像測(cè)頭，如利用CCD攝像機(jī)測(cè)量平面輪廓；
3、二維加一維測(cè)頭：在二維測(cè)頭基礎(chǔ)上，再增加對(duì)焦功能，使其能實(shí)現(xiàn)三維測(cè)量；
4、三維測(cè)頭：如體視式測(cè)頭；
5、接觸式測(cè)頭：先用測(cè)端拾取工件表面位置信息，再用光學(xué)原理進(jìn)行轉(zhuǎn)換。